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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
日本FLUORO福樂(lè)氟橡膠小型真空泵，電磁驅(qū)動(dòng)因此機(jī)械磨損和接觸很少，幾乎不需要維護(hù)，并且可以使用直到隔膜耐久理論值的長(zhǎng)壽命類型。在進(jìn)氣和排氣部分安裝HEPA過(guò)濾器。也可以在潔凈室內(nèi)使用。此外，過(guò)濾器可以通過(guò)機(jī)身透明窗進(jìn)行目視檢查，因此可以掌握更換時(shí)間。（FV-10除外）
產(chǎn)品分類
日本FLUORO福樂(lè)氟橡膠小型真空泵
通過(guò)在封閉空間內(nèi)設(shè)置隔膜，實(shí)現(xiàn)多級(jí)減壓的結(jié)構(gòu)，因此在緊湊的機(jī)身中實(shí)現(xiàn)了高真空壓力。（FV-10除外）
電磁驅(qū)動(dòng)因此機(jī)械磨損和接觸很少，幾乎不需要維護(hù)，并且可以使用直到隔膜耐久理論值的長(zhǎng)壽命類型。
在進(jìn)氣和排氣部分安裝HEPA過(guò)濾器。也可以在潔凈室內(nèi)使用。
此外，過(guò)濾器可以通過(guò)機(jī)身透明窗進(jìn)行目視檢查，因此可以掌握更換時(shí)間。（FV-10除外）
由于結(jié)構(gòu)上是封閉的車身，所以運(yùn)行聲音也很安靜。
另外，與電機(jī)相比，沒(méi)有機(jī)械接觸聲，保持了靜音性。
由于不需要壓縮機(jī)等空氣源，只要有100V電源就可以在任何地方使用。
此外，與我公司的真空鑷子結(jié)合使用，用途也會(huì)更加廣泛。
由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化，與同等的真空泵相比，保證了更高的可靠性和更長(zhǎng)的使用壽命以及更低的能耗。
此外，主體價(jià)格也已降至實(shí)惠的水平。
日本FLUORO福樂(lè)氟橡膠小型真空泵
由于高音材料制成的容器中存放，所以運(yùn)行聲音也很安靜。此外，與電機(jī)式相比，沒(méi)有機(jī)械接觸聲音，保持了靜音性。
通過(guò)調(diào)諧器可以改變磁石和電容之間的距離，從而調(diào)整壓力的強(qiáng)弱。
排氣部裝有毛氈制成的過(guò)濾器。
處理范圍從自重掉落的物品到相當(dāng)于硅片的4英寸。
管子，可以使用 Φ3×5 和 Φ4×6 的尺寸。
附屬的管子是Φ3×5。
通過(guò)在封閉空間內(nèi)設(shè)置隔膜，實(shí)現(xiàn)兩級(jí)減壓，并且結(jié)構(gòu)并聯(lián)，從而實(shí)現(xiàn)了比FV-10更高的真空壓力。
在進(jìn)氣和排氣部分安裝HEPA過(guò)濾器。也可以在潔凈室內(nèi)使用。此外，過(guò)濾器可以通過(guò)本體透明窗進(jìn)行目視檢查，因此可以掌握更換時(shí)間。
處理范圍從自重掉落的物品到6英寸的硅晶圓。
管子，可以使用 Φ3×5 和 Φ4×6 的尺寸。
附屬的管子是Φ3×5。
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