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產品簡介
SIMCO思美高離子棒電離系統離子發生器，AeroBar® 5225 電離系統，潔凈室兼容高離子輸出以實現快速中性化
SIMCO思美高離子棒電離系統離子發生器
Simco-Ion, Technology Group的 Model 5225數字氣動桿，帶有軟件控制，旨在滿足工具內離子化的苛刻要求。通過高離子輸出快速中和晶圓上的電荷，可在水平上實現E78合規性。
集成到工具控制系統
每個AeroBar的參數均可調整
離子電流監測
有多種長度可供選擇，包括3種特別為EFEM設計的。
單晶硅發射點
接口模塊型號 5200-IM6T
支持并供電至6個AeroBar Model 5225離子發生器，FMS輸出。
SIMCO思美高離子棒電離系統離子發生器
| AeroBar 5225 | |
|---|---|
| 電壓 | 輸入：24伏交流電，50/60赫茲，1瓦（典型）；由接口模塊型號5200-IM6T供電 輸出：0-20千伏直流電，每個極性在單獨的AeroBar上可±10%；正或負輸出電平可以通過GUI分別調整 |
| 離子發射 | 脈沖直流電、穩態直流電或備用 |
| 發射器 | 單晶硅，可更換 |
| 潔凈室等級 | ISO 14644-1 Class 1（單晶硅發射極） ISO 14644-1 Class 3（鈦發射極） |
| 維度 | 2.1英寸高 x 1.2英寸寬 x 22.4 / 28.4 / 35.7 / 44.4 / 55.6 / 64.4 / 75.5 / 84.4英寸長 (5.3 x 3.1 x 56.9 / 72.1 / 90.7 / 112.8 / 141.2, 163.6 / 191.8 / 214.4 厘米) |
| 重量 | 1.13 磅（0.51 公斤）用于 22 英寸（55.9 厘米）的桿（每增加 1 英尺/0.17 公斤每增加 30.5 厘米） |
| 接口模塊 型號 5200-IM6T | |
| 輸入電壓 | 24 伏直流電，1.0安，±5% |
| 容量 | 連接最多六個Model 5225航空桿 |
| LED 指示燈 | 綠色電源開啟，黃色通信，紅色報警 |
| 維度 | 2.76英寸高 x 2.88英寸寬 x 12.4英寸長（7.01 x 7.32 x 31.5厘米）帶法蘭 |
| 重量 | 2.6 磅（1.18 公斤） |
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