日本ORION好利旺高真空泵

好利旺(ORION)高真空泵KHA系列是一款采用渦旋(Scroll)技術的無油干式真空泵，代表了其在潔凈真空領域的核心技術。該系列泵通過一對相互嚙合的靜渦盤與動渦盤形成連續變化的密閉腔體，實現對氣體的平穩吸入、壓縮和排出，整個過程無油潤滑。

KHA系列的核心優勢在于其真空性能和絕對的潔凈度。其極限真空度可達1帕(Pa)以下(<1x10-2mbar)，能夠滿足大多數高真空應用的苛刻需求。更重要的是，其壓縮腔體無油無水，從根本上杜絕了油蒸汽污染，為質譜儀(MS)、電子顯微鏡(SEM)、半導體制造、光伏鍍膜等對清潔度要求高的設備提供了理想的真空環境。

此外，KHA系列以其出色的可靠性和極低的維護成本著稱。渦旋結構運動部件少，運行平穩，音極低(<60分貝)，非常適合實驗室和潔凈室環境。其維護僅需定期更換入口過濾器，無需更換泵油、油濾等耗材，顯著降低了長期持有成本和停機時間。

好利旺KHA系列是一款集高真空、絕對潔凈、安靜運行和長壽命于一身的高性能產品，是科研院所、和分析檢測行業獲取可靠干式真空的不錯解決方案。

除了基礎性能，KHA系列在智能化控制和系統集成適配性方面同樣表現出色。多數型號配備了智能真空度、電機負載和泵體溫度，并提供過載保護、自動啟停和故障診斷功控制器，可實時監控運行狀態、能。這不僅提升了操作便捷性，也通過預防異常工況大大延長了泵的使用壽命。

其優異的氣體兼容性也是一大亮點。得益于堅固的渦盤材質和特殊表面處理，KHA泵能處理包括腐蝕性。易燃性(需配惰性氣體 purge 功能)、含微量可凝性蒸汽在內的多種復雜工藝氣體，而無需擔心像油泵那樣導致油品乳化變質。當然，為應對粉塵或強腐蝕性介質，前置過濾器和化學過濾器仍是標準推薦配置。

日本ORION好利旺高真空泵